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回顾了纳米技术的发展过程介绍了纳米计量的必要性重点叙述了目前常用的两种纳米测量技术:激光干涉法和扫描探针法。
纳米技术与纳米计量技术
【摘 要】
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回顾了纳米技术的发展过程介绍了纳米计量的必要性重点叙述了目前常用的两种纳米测量技术:激光干涉法和扫描探针法。
【机 构】
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河北半导体研究所,河北石家庄050051
【出 处】
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2008年计量与测试学术交流会暨无线电计量校准技术研讨会
【发表日期】
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2008年9期
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