纳米计量相关论文
纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术，是先进纳米制造技术的基础。其中，溯源性是纳米计量的基础问题，而研制纳米计量标准物质是实......
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究.......
SPM仪器发明20年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的作用,SPM同时也是极有潜力的纳米计量仪器.文章对扫描探针显微镜在纳米计......
概述当前纳米材料结构膜厚参数的计量现状，讨论建立和完善我国纳米膜厚的计量溯源体系。分析X射线反射法(XRR)、椭圆偏振法(ELM)、......
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研......
准确的纳米几何特征尺寸测量是提高集成电路等微纳技术产品质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须在国家层面......
在软Ｘ－射线光学，强光光学及高强度高功率激光系统中光学元器件表面的微轮廓粗糙度要求在纳米和亚纳米量级。为了对如此高精度表面进行......
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型，综合考虑横向发散角、纵向......
利用蒙特卡罗随机思想选取轨迹初始条件,将铬原子束同位素、纵向速度分布和横向高斯发散角等因素综合考虑,对原子光刻经典粒子模型......
提出了一种基于激光多重回馈效应的纳米计量系统,系统采用非准直平凹回馈外腔结构,使在回馈外腔中往返多次的回馈光束返回到激光谐......
本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和......
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM)。此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时......
扫描探针显微镜(SPM)是一种具有原子级分辨率的新型显微工具,其厚度测量量值在单原子层厚度(......
在软Ｘ－射线光学，强光光学及高强度高功率激光系统中光学元器件表面的微轮廓粗糙度要求在纳米和亚纳米量级。为了对如此高精度表面进行......
本文针对目前AFM测量线宽中所存在的一些问题,进行了基于AFM的纳米尺度线宽测量技术的研究.研究了AFM的工作原理、成像过程、仪器......
原子力显微镜作为扫描探针显微镜的一个重要成员，是纳米科学技术中的主要工具之一。由于具有纳米甚至原子量级的超高分辨率和柔性的......
纳米尺度线宽的测量广泛应用于半导体制造、数据存储、微机电系统等领域。随着制造技术的进步,线宽的极限尺寸也变得越来越小,目前......
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时......
期刊
在面临着急剧的能源和原材料消耗的现状,同时还得满足越来越高的客户质量和产品的技术期望,制造业面临着全球的竞争挑战。今后10年......
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于......
介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定......
为实现纳米薄膜厚度计量的量值溯源,研制了一套纳米薄膜厚度校准样片,其中纳米单层膜厚度标准片带有可供各类接触式测量仪器测量的......
针对纳米结构表征和纳米制造的质量控制需要,中国计量科学研究院设计并搭建了一台计量型原子力显微镜用于纳米几何结构的测量.为了......
单晶硅晶格间距是许多重要物理常数测量的基础。本文介绍了硅晶格间距测量技术的发展历程,包括X射线干涉仪直接测量和晶格比较仪间......
研制了用于纳米计量的双成象单元扫描隧道显微镜－原子力显微镜，由扫描隧道显微镜参考单元和原子显微镜被测单元组合而成，两者共用同一......
研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜，介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统，利用该系统对原子晶格图象进行扫描，验证了纳米......
纳米是英文(namometer)的译名,是长度计量单位的一种,1nm等于1μm的1/1000,是1m的10亿分之一.略等于4至5个原子排列起来的长度,正......
介绍了我们研制的一种高精度、具有计量学意义的原子力显微镜测头.该显微测头与其它部件协同工作在50 mm×50 mm×2 mm的......
据新华网消息，由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过三年的科技攻关，在国内首次成功研制出一维铬原......
间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方......
概述当前国内外纳米材料结构膜厚参数的计量现状，针对我国目前纳米膜厚尚未建立计量溯源体系，提出一种可实现纳米膜厚的量值溯源的途......
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力（0．7nm）电容传感......
微/纳米级台阶高度的精确测量是纳米计量技术领域中重要的研究工作。文中提出了一种以精确定位为前提的多区域坐标组合台阶高度测......
本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测量验证,并对测量过程中对结......
对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长......
1引言扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为......
本文提出了一种用二维零位光机来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文......
为了说明原子光刻（Atom Lithography）在纳米计量及传递作用中的特殊地位，首先对纳米计量标准及其现状进行了简要介绍，提出纳米计量中原......
纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位......
研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象，计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺......
采用原子力显微镜以TOP-DOWN方式测量单晶硅刻线单侧形貌。提出以单次扫描线上5个最低测量值的平均值为高度参考点且各条扫描线参......
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合，设计开发计量型动态模式原子力显微镜（AFM）。此AFM系统中，三轴激光干涉仪系统用于实时测量......
回顾了步进高度测量技术在纳米计量中的应用.分析了在步进高度测量技术中的一些分析方法、算法和误差源,表明了不同的算法会导致不......
