【摘 要】
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采用电化学方法研究镀液组成对钯电沉积层内应力的影响。结果表明，镀液中不含添加剂、单独含FK4H及与pps共存时，镀层均呈现张应力；镀液中再加入FF及十六烷基三甲基溴化铵时。镀
【机 构】
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大学化学系固体表面物理化学国家重点实验室
【出 处】
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中国电子学会电镀专业委员会第七届电镀年会
论文部分内容阅读
采用电化学方法研究镀液组成对钯电沉积层内应力的影响。结果表明，镀液中不含添加剂、单独含FK4H及与pps共存时，镀层均呈现张应力；镀液中再加入FF及十六烷基三甲基溴化铵时。镀层则呈现压应力；在电沉积初期镀层内应力变化较大，随着沉积时间的延长而逐渐趋于稳定。脉冲电沉积所获得的钯镀层较直流的具有较低的内应力。停止电沉积后，钯镀层均呈现张应力，并随时间延长而逐渐增大。
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