【摘 要】
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照明系统是光刻机中曝光系统的一个重要组成部分,其重要指标之一是照明均匀性,良好的照明均匀性是保证光刻机在大曝光场内获得均匀曝光线条宽度的必要条件.为了改善照明系统的照明均匀性,研究者提出了多种均匀化技术,诸如积分棒、衍射光学元件、微透镜阵列以及这些技术的结合等.相比之下,只有微透镜阵列能应用于高数值孔径投影光刻机,因为其在获得大尺寸照明光场的同时,还能保持的光束的偏振特性.光刻机是一种非常复杂的系
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院大学,北京,100049 中国科学
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照明系统是光刻机中曝光系统的一个重要组成部分,其重要指标之一是照明均匀性,良好的照明均匀性是保证光刻机在大曝光场内获得均匀曝光线条宽度的必要条件.为了改善照明系统的照明均匀性,研究者提出了多种均匀化技术,诸如积分棒、衍射光学元件、微透镜阵列以及这些技术的结合等.相比之下,只有微透镜阵列能应用于高数值孔径投影光刻机,因为其在获得大尺寸照明光场的同时,还能保持的光束的偏振特性.光刻机是一种非常复杂的系统,其装配精度要求极高,在装配之前必须测定关键元器件的工作性能,用于匀光的微透镜阵列就是其中的关键元件之一.因为投影光刻机照明系统属于大视场和高NA照明系统,所以照明均匀化器件的整体尺寸比较大,大口径均匀化器件的加工工艺要求很高,同时大口径均匀化器件也要求很高的性能检测手段,因为照明均匀化器件性能的离线检测很难采用实际工作时的大口径入射光束,并且加工与配套使用的大口径聚光镜难度很大,此外没有简单的方法实现入射到微透镜阵列上的光分布为离轴照明模式.
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在现代光学系统的特性测试中透镜的长焦距是一个必须准确测量出的量.大口径的透镜由于有较高的分辨率在许多工程中都有重要的应用,但由于长焦距测量具有焦深长、焦距长、干扰大等难点,对于透镜的长焦距测量一直没能有很好的解决办法.
根据脉冲测距仪模拟检测中"时间模拟空间距离"的主导思想,距离模拟的关键在于可调节的高精度延时.综合考虑光纤延时和电路延时的优缺点后,研究了在不提高电路延时中计数频率的前提下提高延时精度的电路延时方法.通过采用内部电路延时和外部电路延时相结合的方法,设计了一种能够实时补偿延时误差的高精度可控延时电路,有效地提高了电路延时精度.最后通过高采样率的示波器对该延时电路的延时精度进行实际测量,结果表明该延时
随着多光轴武器光电系统的大量装备部队和应用,对光电系统的光轴平行性实现校准的便携式校轴仪也已经批量装备部队.便携式校轴仪的光轴平行性示值误差的大小关系到对光电系统的光轴平行性的校准准确度.为了评估便携式校轴仪的光轴平行性示值误差大小,需要研制便携式校轴仪校准装置以实现对便携式校轴仪的校准.
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利用数字相干探测技术对BOTDR传感系统进行解码,获得了布里渊散射谱分布.其信噪比增加和理论结果一致.
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在材料处理、医学手术、半导体制造、激光核聚变及全息术等激光应用领域,激光光束的能量分布不均匀特性限制了其应用,需将高斯光束整形成能量均匀分布的平顶激光束.目前国内大多采用非球面透镜组、二元光学元件或空间光调制器构成光束整形均化装置,而鲜有对以微透镜阵列(Microlens array,MLA)作为均化元件的激光均化器研究.微透镜阵列均化器具有结构简单、制造成本低、对入射光束变化不敏感等优点,所以研