【摘 要】
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提出了一种新的基于强度调制型空间光调制器的并行激光直写系统,介绍了该系统的总体结构及工作原理.建立了并行光学子系统的数学模型,分析了直写系统性能同空间光调制器、傅
【机 构】
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国防科技大学机电工程与自动化学院(长沙)
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提出了一种新的基于强度调制型空间光调制器的并行激光直写系统,介绍了该系统的总体结构及工作原理.建立了并行光学子系统的数学模型,分析了直写系统性能同空间光调制器、傅里叶变换透镜、空间滤波器、投影物镜之间的关系,并编制了相应的设计软件.通过计算机仿真研究发现,该系统可实现阳小特征尺寸为1μm的微光学器件的激光直写,所具有的并行特性使其一次的写入面积达266.24μm×199.68μm,同传统的激光直写系统相比,可大大提高写入速度,缩短生产周期,降低生产成本.
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