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本文根据我国微电子技术发展对与之配套的微电子化工材料的要求,阐述了超净高纯试剂、光刻胶和电子特种气体的应用、状况、需要解决的关键技术和发展方向。
我国军工微电子专用化工材料现状及发展
【摘 要】
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本文根据我国微电子技术发展对与之配套的微电子化工材料的要求,阐述了超净高纯试剂、光刻胶和电子特种气体的应用、状况、需要解决的关键技术和发展方向。
【机 构】
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北京化学试剂研究所北京科华微电子材料有限公司 北京 100022
【出 处】
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2006年特种化工材料技术研讨会
【发表日期】
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2006年期
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