论文部分内容阅读
基于锗硅合金材料的特性和拉曼光谱理论，本文开展了该体系材料拉曼-力学关系的推导以及实验力学分析。首先从类金刚石晶体结构Secular 方程出发，推导出了等双轴平面应力状态和单向应力状态下拉曼频移与晶格变形之间的关系；同时，将声子限制效应影响引入到頻移计算，对不同元素组分材料的已有实验结果进行拟合给出修正系数，从而得到了元素组分相关的拉曼-力学关系。利用修正后的拉曼-力学关系，对半导体多层异质材料的拉曼实验结果进行分析，得到了其不同深度的残余应力分布规律。