【摘 要】
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基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术的气体传感器在气体含量检测、有毒气体泄漏遥测、大气质量监测等领域具有广泛的应用.本文根据气体吸收光谱原理,确立了氧气测量的
【机 构】
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北京遥测技术研究所 北京 100076
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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基于可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术的气体传感器在气体含量检测、有毒气体泄漏遥测、大气质量监测等领域具有广泛的应用.本文根据气体吸收光谱原理,确立了氧气测量的谐波检测理论依据,设计完成了基于垂直腔面发射激光器(VCSEL)的新型长光程气体池,并制作完成了氧气传感器实现氧气浓度的测量,传感器测量范围为(0～100)％,测量精度优于0.2％.在氧气测量中使用760nm的VCSEL激光器,该激光器由于其几乎等同于本征安全的工作电流和极低的功耗等优点,特别适用于恶劣的高危工况环境下的气体检测以及工业过程中氧气的在线监测等,在基于TDLAS的气体传感器中具有显著的优势和广泛的应用前景.
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