敏感芯片相关论文
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术——选择性电铸技术.该技术以金为检测电极,某种金属作为牺牲层,用正胶作为电铸胎膜,在......
本文针对一种基于蓝宝石敏感结构的光学式超高温压力传感器的核心部件——蓝宝石压力敏感结构封装工艺问题,介绍一种基于原子扩散......
网格状电极制作是湿度敏感芯片制作工艺的难点.为了提高湿度敏感芯片的响应时间,要求网格状电极金属线条尺寸达到微米级.本文利用L......
采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效......
本文介绍了体硅"掩膜-无掩膜"腐蚀的工作原理;以摆片式硅微加速度计敏感芯片的制作为例详细介绍了"掩膜-无掩膜"的工艺流程;利用该......
在单晶硅晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片.根据芯片实际已经有要求,提出了提高芯片稳定性......
气象探测是指利用遥测和遥感手段进行从地面到对流层、平流层、中间大气层的温度、气压、湿度和风向风速的探测,其中湿度测量在国......
用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜应变进行的研究,测出了该弹性膜的应变情况 ,此方法对其它结构形式的敏感芯片应变的研究也......
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非......
针对传统的空调送风系统在大温差环境下不能很好地进行送风的问题，提出一种大温差环境下空调送风系统优化设计方案。对机器露点机组......
报道了用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜在不同压力情况下的应变进行的研究,并测出该弹性膜的应变情况。此方法对其他形式的......
针对一种角度扫描型SPR生物传感检测装置的小型化、高通量研究,包括系统的硬、软件研制及实验测试。在现有SPR传感研究基础上,提出......
“叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点，成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工......
<正>2017年4月17日,陆首群在创新2.0研究群就美国商务部公告禁止中兴通讯向美国企业采购敏感芯片,全面停止对中兴的技术支持,妄图......
石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进......
地震勘探是目前石油、天然气、地质勘探中一种常用且十分有效的方法,地震检波器的性能优劣直接决定了地震勘探的应用前景。经过多......
从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外......
期刊
为获取硬目标侵彻武器弹体侵彻过程中完整的三轴向加速度信号,研制了三维高冲击过载MEMS压阻式加速度传感器。提出了中心岛硬心质......
本论文研究了采用微机械加工技术(MEMS)制作的双轴电容式振动传感器,其基本工作原理是利用惯性质量块在外界加速度的作用下与检测......
微电子机械系统MEMS(Micro-electro-mechanical System)与光纤检测技术相结合给传感器的研制带来崭新的发展方向:MEMS光纤传感器。......
技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述研究所发明了基于MEMS(微机电系统)技术的创新性高性能电场传感器敏感结构,研制出国......
本文介绍了固态压阻压力传感器的敏感芯片、工艺制作、装配结构设计思想和主要技术性能,并对这类压力传感器的应用作了简要说明。
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