LTCC 3D-MCM垂直互连技术研究

来源 :中国电子学会第十五届电子元件学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：i369731392

【摘要】

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LTCC 3D-MCM是采用低温共烧陶瓷(LTCC)为基板,实现有源元件和无源元件高密度集成的组件.垂直互连是完成2D-MCM转化为3D-MCM的重要途径. 本文介绍了叠层型LTCC 3D-MCM制作

【作者】

：

李建辉董兆文

【机构】

：

中国电子科技集团公司第43研究所,合肥230022

【出处】

：

中国电子学会第十五届电子元件学术年会

【发表日期】

：

2008年11期

【关键词】

：

垂直互连陶瓷基板低温共烧集成电路制造工艺

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LTCC 3D-MCM是采用低温共烧陶瓷(LTCC)为基板,实现有源元件和无源元件高密度集成的组件.垂直互连是完成2D-MCM转化为3D-MCM的重要途径. 本文介绍了叠层型LTCC 3D-MCM制作的基本工艺和几种垂直互连技术;对垂直互连所形成的焊料凸点、基板之间的连接进行了分析和讨论.

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