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应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜基底，利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成。脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计，另一方面很大程度上取决于作为基底的多层膜的设计。本文给出了以 413nm 作为写入波长，1053nm 作为使用波长的多层介质光栅膜的设计，并对膜系结构对光学性能的影响因素给出了详细的分析。结果表明膜系 H3L(H2L)^9H0.5L2.03H 满足光栅膜的要求。最后给出了制备得到的样品光学特性测试，实验结果和理论设计符合的很好。