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本文提出的齿轮全谐波误差分离技术是一种新的亚微米级齿轮测量技术.在一台光栅式齿轮整体误差测量仪上,它用被测齿轮的一次转位,便能分离开仪器轴系测量链的系统误差和被测齿轮的全谐波误差,因而能满足5级或更高精度等级齿轮的测量要求.这就提供了进一步提高仪器测量准确度的可能性.换言之,新一代超精密齿轮整体误差测量仪的测量不确定度可以从微米级提高到亚微米级的水平.