金膜、银膜和复合金属薄膜光纤表面等离子体共振传感器的比较研究

来源 :第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cwhgh
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由于金属薄膜的种类对表面等离子体共振传感器的灵敏度有一定影响,且不同金属的化学稳定性和附着效果都有较大差异,基于以上考虑,制备了Ag、Au和Ti/Ag/Au复合金属薄膜光纤SPR传感器,并开展了实验对比研究.结果表明,各种传感器的灵敏度随测量溶液折射率增大逐渐升高,受内层Ti金属的影响,复合薄膜的灵敏度与Au膜相当;但复合薄膜的折射率测量范围略大于Ag、Au膜,且为1.3344-1.4111RIU;在高折射率区(1.3895-1.4036 RIU),复合薄膜的稳定性和分辨率优于Ag、Au膜.实验发现,内层Ti金属可以控制折射率测量范围和提高分辨率.
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