【摘 要】
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论文采用低温离子渗硫技术对不同Mo含量的CrMoN复合膜进行低温离子渗硫处理,制备了CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜.性能分析结果表明,CrMoN/MoS2复合膜表面形貌发生很大
【机 构】
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装甲兵工程学院装备再制造工程系,北京100072
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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论文采用低温离子渗硫技术对不同Mo含量的CrMoN复合膜进行低温离子渗硫处理,制备了CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜.性能分析结果表明,CrMoN/MoS2复合膜表面形貌发生很大变化,晶粒变得疏松细小,呈颗粒状.当Mo含量增多时,CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜的粗糙度减小,晶粒细化程度增加,渗硫层厚度逐渐增加.相结构分析表明,CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜中出现了MoS2相的衍射峰,CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜的衍射峰明显宽化.透射电镜分析表明,在CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜中,六方结构的MoS2镶嵌在CrN或Mo2N的晶粒中,形成软硬相相互嵌入的结构.CrMoN/MoS2微纳米固体润滑复合膜形成了表层硬度较低,次表层硬度较高的理想的摩擦表面,具有更优异的抗塑性变形能力,与基体的结合强度增高.
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