【摘 要】
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本文介绍了扩散阴极的共性缺陷研究,并给出相关缺陷分析实例及其应用.结合阴极关键生产工艺流程,借鉴FMEA可靠性分析思想,建立起阴极的缺陷、缺陷危害及控制措施分析体系,成
【机 构】
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电子元器件可靠性物理及应用技术国家级重点实验室,信息产业部电子第五研究所,广州,510610
【出 处】
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2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会
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本文介绍了扩散阴极的共性缺陷研究,并给出相关缺陷分析实例及其应用.结合阴极关键生产工艺流程,借鉴FMEA可靠性分析思想,建立起阴极的缺陷、缺陷危害及控制措施分析体系,成为建立缺陷半定量、定量分析准则的重要基础.体系和缺陷图集的完成,可上升至阴极制造行业相关可靠性准则的制定,填补国内此研究领域的空白.对真空器件领域阴极可靠性的提高,有着非常深远的意义.
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