基于内蕴特征模式的多尺度光学复杂曲面几何误差评定方法的研究

来源 :中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angie133
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  随着超精密加工技术在空间光学、生物医学等领域的广泛应用,新一代光学复杂曲面往往具有宏观、介观至微观的多尺度几何特征,其尺寸、形状和表面微结构都被针对性地用于实现不同的功能。但是多尺度光学复杂曲面的检测需要针对不同尺度的几何要素进行综合测量,使得许多原本针对单一尺度的测量方法不能满足检测需求,迄今为止,国际上仍缺乏通用的标准和方法用于测量评定这一类曲面的加工质量。研究人员尝试应用多种传感器整合到同一平台,协同测量曲面不同尺度的几何要素,并通过数据融合技术将不同传感器所获取的测量数据融合到统一的数学模型当中从而评定其几何误差。然而多传感器几何测量技术目前还处于相对初期的发展阶段,大多数研究方法还局限于某一类特定面型的应用,缺乏系统性的研究和通用性的测量评定方法。
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