压电薄膜相关论文
近年来，压电薄膜振动传感器发展十分迅速，已被广泛应用于结构健康监测、医疗电子、加速度、器件振动等测量。该文针对压电薄膜振动传......
随着新型冠状病毒在全球范围内的爆发,人们对疾病的预防、诊断和治疗提出了更高、更迫切的要求。通过有效的筛查和诊断,医生可以在......
针对传统固体压电陶瓷式压电探头安装结构复杂、响应频率范围窄、对于复杂曲面不适应等缺点导致的在管道泄漏检测中灵敏度不高、检......
结构健康监测受到业内的广泛重视，尤其是关键部位紧固件预紧力的精准检测和实施监测。压电传感器是实现超声波高精准度无损检测紧固......
直立型石墨烯（VG）是在基板上竖直生长的石墨烯材料,这种独特的构造使其在传统石墨烯优异的导电性、导热性、化学稳定性和高的比表面......
超级电容器因其充放电速度快、使用寿命长、循环稳定性好、体积小、功率密度高,被认为是很有前途的可充电电池替代品,正逐步应用于......
心率信号和呼吸信号在一定程度上反映人体心肺功能健康状态,针对人口老龄化和人体亚健康问题日益严重的社会现状,对人体心率和呼吸......
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器（HBAR）,研究了钪（Sc）掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明，当掺......
随着物联网的快速发展,智能监测和无线传感技术得到了广泛的发展,传感器作为互联网络的关键一环,一直就是研究的热点。声表面波（Sur......
目前国内对于压电式切削测力仪研究成果较少,国内使用的切削测力仪大多为国外进口。而且价格昂贵。因此,本课题针对实验室数控机床......
声表面波（Surface Acoustic Wave,SAW）传感器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的MEMS器件。传统Si基MEMS应变传感器无法......
该文采用磁控溅射法在蓝宝石基片上制备出高择优取向的极薄氮化铝(AlN)压电薄膜.使用原子力显微镜(AFM)和X线衍射仪(XRD)分析了AlN......
随着第三代通讯技术的发展，声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高，从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增......
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅......
风力机叶片、飞机机翼等曲面结构中裂纹等缺陷的萌生及扩展导致结构安全性能指标降低,带来安全隐患,其健康监测是质量监控与安全运......
本世纪以来,传感器应用技术发展迅速,其在宇宙探测、深海探测、深地探测等科学研究、医学器械交通运输工具智慧生活等领域的应用越......
有机压电材料(聚偏氟乙烯)PVDF、(聚偏氟乙烯三氟乙烯)P(VDF-TrFE)具有良好的压电性、柔韧性,可用来制作柔性压电传感器。本文基于......
聚偏氟乙烯(PVDF,-[CF_2-CH_2]-)因其独特的结构性质在室温下存在自发极化现象,表现出优异的压电特性,有机-无机钙钛矿是一类潜在......
随着科学技术的日益发展,在微纳机电系统、柔性电子器件、航空航天、人体健康监测等一些需要高集成、高效率、低能耗等特性的结构......
微流动系统作为微型机械(MEMS)领域的重要分支,是微型制冷系统不可缺少的环节。设计与微型制冷系统相匹配压力和流量的微型压气机......
近年来,随着我国经济的快速发展,生活节奏加快、生活压力增大,导致人们缺乏锻炼,生活作息不规律。由此引起的人体内环境失调、免疫......
随着通信技术的迅猛发展,网络通讯的升级对包括SAW滤波器、双工器、功放、开关、低通滤波器在内的射频前端要求越来越高。其中,滤......
本文针对入水冲击压力测试问题展开研究,自行设计了基于PVDF压电薄膜的传感器和用于标定该传感器的立式Hopkinson压杆标定系统,对P......
自2015年《北京市初中科学类学科教学改进意见》发布,要求“将科学类学科不低于10%的课时用于开放性科学实践活动,整合利用博物馆......
聚偏氟乙烯(PVDF)成膜性好,含高取向度β晶的PVDF薄膜具有良好的压电性能。在传感技术领域可被加工成柔性压电薄膜,在未来的人体触......
压电振动能量收集器因其结构简单、易于加工、无污染等优点而被广泛应用于电池更换维修困难、环境恶劣、功耗需求低等场合。压电振......
随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势,压电薄膜愈来愈受到人们的重视。压电薄膜和基底材料的构形和材料性能的不同,容易造成压......
噪声主动控制是近几十年来研究的热点，其中一个重要的研究分支是封闭空间的噪声主动控制，其应用对象包括汽车驾驶室、飞机机舱和生活......
水声传感器是水下各种接收测量用传感器的总称,是声呐的重要组成部分。现阶段的水声传感器不但要在水下探测到声音的存在,也需要感......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
切削力是机械加工中的主要参数,测力仪直接测量是应用广泛且使用方便的切削力获得方法。将压电材料作为传感元件可提高测力仪性能,......
为了研究压电薄膜的特性，常常需要测量电场作用下薄膜厚度的变化。因为薄膜的厚度很小，不能施加太高的电压，过高的电压会击穿薄膜，所以......
科技产品的普及,使工作效率得到提高的同时,也造成了很多弊端,例如工作的重复性越来越高,工作形式越来越单一,致使工作者身体机能......
作为一种高灵敏度的传感器件,微悬臂梁的应用极为广泛,最初是应用于原子力显微镜(AFM)上,它的使用使AFM不仅具有原子级分辨力的显......
临床研究表明,咬合力是反映咀嚼肌,口颌系统的重要标志之一。通过测定咬合力的大小可以帮助我们了解口颌系统的功能状况,并对多种......
扫描探针显微镜(SPM)的原理是利用一端固定,另一端装有针尖的弹性微悬臂梁来检测样品表面形貌或其他表面性质。该系统分辨率高、操......
锆钛酸铅(PZT)压电薄膜是由铅(Pb)、锆(Zr)、钛(Ti)三种元素组成具有ABO3型钙钛矿结构的化合物，具有优良的压电、铁电、介电和热释......
近年来，随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用，微型机械、超精密光学器件、MEMS等越发趋于微型化，传统的三坐标测量机(CoordinateM......
作为宽能隙直接能带结构的半导体材料,AlN,GaN,InN等Ⅲ族氮化物由于高效率可见光和紫外光发射以及光响应特性而在全色光器件方面具......
纳米压痕技术因为其简便快捷,样品尺寸小、精确性高等特点,成为一种表征薄膜材料力学性能的常用方法。但是,由于压痕响应过程中基......
学位
自八十年代后期以来，为了更为有效地降低结构声辐射，人们提出了主动结构声学控制(ASAC)。其中以声辐射模态为基础的ASAC系统是近年来......
基于声辐射模态的有源结构声学控制(ASAC)是近几年提出的分析结构振动辐射声场性质和控制噪声辐射的一种有效方法。通过振动结构表......
薄膜体声波谐振器因其特有的优势已广泛应用于无线通讯领域。薄膜体声波谐振器应用于生物化学传感领域也日益受到关注，而生物化学传......
附于弹性软基体上的压电薄膜(如PZT等)在基体释放的预应变或受到薄膜内力的作用下会发生失稳屈曲。利用这一特性,压电薄膜附于弹性......
