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本文概述了现阶段MMIC器件的质量和可靠性发展的情况。从MMIC的工艺、结构、各种相关失效机理,以及典型案例多种角度对MMIC器件进行分析,明确了MMIC的可靠性问题主要表现为有源器件、无源元件和环境因素引入的损伤退化,从而指出目前MMIC所面临的挑战,为进一步研究MMIC器件的质量和可靠性问题奠定了基础。