氦质谱泄漏检测中值得注意的几个问题

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luohua0891
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氦质谱泄漏检测作为一种无损检测技术在我国越来越普及,但在实际操作过程中,人们对于这项技术在理论及应用上还存在一些较为模糊的认识,在检漏方法的选择、漏率的定量计算、检漏仪的应用等方面还存在某些问题.本文列举几点加以评述,抛瓦釜之见,求引玉之功.文章介绍了漏率的本质与漏率单位换算,探讨了氦质谱检漏仪反应值与漏率的关系,对漏率计算的理论基础进行了阐述,就检漏方法的选择进行分析,提出对检漏环境的要求。通过对动态泄漏检测数据的采集,说明标准漏孔的选用,论述了检漏仪与检漏系统的最小可检漏率,以及检漏仪的自动零点调整的使用。
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