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紫外波段SiO2/Si3N4介质膜分布式布拉格反射镜的生长与研究
【机 构】
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南京大学固体微结构物理国家重点实验室,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学电子科学与工程学院,南京210093
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年期
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