【摘 要】
：
牺牲层化学腐蚀中,腐蚀速率的控制对于避免过腐蚀和准确预测腐蚀时间,从而提高MEMS器件加工效率具有重要意义.影响腐蚀速率的因素有很多,其中腐蚀温度是较为重要而且比较容易实现控制的因素.本文提出了温度对腐蚀速率的影响是通过对腐蚀速率常数和扩散系数的影响来实现,并且对前者的影响程度要大于后者.通过bubble型结构的牺牲层腐蚀实验,发现基于上述思想建立的腐蚀模型和实验结果符合良好.
【机 构】
：
浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
【出 处】
：
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
牺牲层化学腐蚀中,腐蚀速率的控制对于避免过腐蚀和准确预测腐蚀时间,从而提高MEMS器件加工效率具有重要意义.影响腐蚀速率的因素有很多,其中腐蚀温度是较为重要而且比较容易实现控制的因素.本文提出了温度对腐蚀速率的影响是通过对腐蚀速率常数和扩散系数的影响来实现,并且对前者的影响程度要大于后者.通过bubble型结构的牺牲层腐蚀实验,发现基于上述思想建立的腐蚀模型和实验结果符合良好.
其他文献
本研究通过旋涂技术成功制备了三种萘酞菁配合物气敏薄膜.AFM研究表明,萘酞菁配合物分子以无序聚集形式排列在基片上,并且薄膜表面均匀、平整度较好.系统研究了萘酞菁配合物旋涂膜的气敏性,结果表明,萘酞菁配合物旋涂膜在100ε时对NO2具有较好的灵敏度、可逆性和专一的选择性,八异戊氧基-2,3-萘酞菁钯、钴和铜对NO2最低检测浓度分别为1mg·m-3、20mg·m-3和0.5mg·m-3,而对同浓度的N
本文介绍了用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜.并进行1100℃,2h的退火处理,使其完全转换成金红石结构.配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间.取出后,在红外烘烤箱中焙干.最后在马弗炉中500℃1h退火处理.用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验,发现对氧气有更好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右.
本文制作了一种采用"Pt底电极/铁氧体磁性薄膜/Cu线圈"结构形式的新型磁膜微电感.该电感使用铁氧体磁膜作为中间层磁性增强元件,形成层叠通孔结构.电感制作过程的关键步骤包括:使用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法、旋涂法和快速热处理(RTP)工艺制作铁氧体磁性薄膜;采用离子束刻蚀(IBE)工艺进行磁膜刻蚀,制作磁膜通孔;利用溅射和电镀方法制作底电极和电感线圈.实验表明,该新型层叠结构磁膜微电感制作工艺
本文提出力平衡式微机械加速度计系统一种数字式实现方法,利用单片机AT89c2051产生方波,控制模拟开关,实现电容电压(C-V)转换,并用单片机ADμc812对C-V转换电路输出信号进行滤波放大处理,得到加速度信号.该系统具有适用范围广,设计灵活,研制周期短等特点,无需设计新硬件,修改单片机算法即可实现对不同加速度计的驱动,通过优化算法就可以实现系统优化.
本文利用ANSYS程序含有的有限元分析能力对一种基于MEMS技术的压阻式高g值冲击加速度传感器的敏感元件进行了受力和模态分析,为了解和指导压阻芯片的制作和传感器的封装提供了可信的分析结果.通过仿真给出了圆膜片受100000g加速度时的仿真挠度云图、径向应力曲线、切向应力曲线和前六阶模态响应的仿真结果,模态分析结果表明该结构压阻式冲击加速度传感器的频率响应特性可以满足高g值应用的要求.
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,本文对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,对加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:根据给出的四梁中心悬臂结构,在典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2000g以上,采取质量块减薄和打孔并用的方法可以保证加速度计具有70g以上量程.
本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,它具有驱动电压低、体积小、结构紧凑,易于集成,能够采用标准的CMOS集成电路作为激励信号源等优点.该微型电场传感器采用PolyMUMPs(多晶硅多用户MEMS工艺)表面微细加工技术加工,其结构主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分,其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极在平面内的来回周期运动来调制其下方感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与
集成应力传感测试芯片是测量片上应力分布的有力工具.本文研究基于(111)硅片的全分量MOSFET应力传感器.相比于压阻型,MOSFET具有灵敏度高、占用面积小、与传统CMOS工艺兼容的优点.本文讨论了一种制作在(111)型硅片上的MOSFET型集成电路封装应力测试单元的设计.这种单元共有八个MOS晶体管,包括四个n型MOS晶体管和四个p型MOS晶体管,通过对八个晶体管进行合理的排布,使之具有除了上
美国的NHTSA已出台的TREAD法规引起新一轮轮胎压力监测系统的应用、开发热潮.美国、西欧、日本、加拿大等发达国家借先行一步之优势大举向中国推销.中国国内已有200多家代理、分销、二次开发等厂商.本文简要介绍了轮胎压力测量的发展概况、直接式轮胎监测系统的构成;传感器的工作原理、专用集成电路(ASIC)的结构及功能等.
本研究应用MEMS(MicroElectro-MechanicalSystem)技术制作出硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃烧结工艺将敏感元件与带有质量块的弹性梁键合起来,制作出基于硅压阻效应的高过载加速度传感器.质量块两侧的保护结构可以提高传感器的过载能力,当施加在传感器的加速度超过满量程的2倍后,过载结构将阻止质量块的进一步位移,起到保护作用,满足高过载的要求,其中关键在于质量块与过载结构之间间隙