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本文设计了引线框架键合机的并联机构的XY工作台，分析了工作台的结构原理，使用COSMOSWorks软件对工作台进行了结构建模、静态特性分析和模态特性分析，确保设计结构可以满足工作台的送片功能要求。
微电子封装设备XY平台的结构设计
【摘 要】
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本文设计了引线框架键合机的并联机构的XY工作台，分析了工作台的结构原理，使用COSMOSWorks软件对工作台进行了结构建模、静态特性分析和模态特性分析，确保设计结构可以满足工作
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院,广州中国 510006
【出 处】
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第十三届全国包装工程学术会议
【发表日期】
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2010年期
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