【摘 要】
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理论分析并实验研究了一种低成本、高精度的Fabry-Perot(F-P)干涉型光纤压力/液位传感器.分别采用200μm厚的镀金硅片、5μm厚的奥氏体不锈钢薄膜(0Cr18 Ni9)作为压力敏感膜,
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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理论分析并实验研究了一种低成本、高精度的Fabry-Perot(F-P)干涉型光纤压力/液位传感器.分别采用200μm厚的镀金硅片、5μm厚的奥氏体不锈钢薄膜(0Cr18 Ni9)作为压力敏感膜,与光纤毛细管、光纤端面构成F-P腔,尺寸约为Φ2mm×7mm.理论计算了在均布载荷情况下,两种不同压力敏感膜的形变大小与分布.基于波长解调,实现了0～1MPa范围内的压力测量.线性相关系数达到0.9999,最佳分辨力和灵敏度分别达到0.07kPa和14.1pm/kPa,测量不确定度≤0.3％.采用标准工业压力管接头封装,在0～1MPa范围内气密性好。
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