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<正>重掺N型(N+)直拉硅单晶包括重掺磷、砷和锑三种,它们通常用作结构为N/N+的硅外延片的衬底。这种类型的硅外延片在集成电路和功率半导体器件中都有广泛的应用。与轻
重掺N型直拉硅单晶的氧沉淀
【摘 要】
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<正>重掺N型(N+)直拉硅单晶包括重掺磷、砷和锑三种,它们通常用作结构为N/N+的硅外延片的衬底。这种类型的硅外延片在集成电路和功率半导体器件中都有广泛的应用。与轻
【发表日期】
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2009年期
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