【摘 要】
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1.引言轴锥镜是一个焦线沿光轴方向的旋转对称角锥形光学元件,由于它的长焦深以及窄的横向宽度的特性,它被广泛应用于成像光学系统、光学测试、激光束整形等方面,且在光刻照明中利用轴锥镜可以实现环形照明模式,这就需要精确的测量方法来保证轴锥镜的加工精度.本文提出一种利用偏振移相干涉仪检测轴锥镜透射波面的方法,利用金刚石车床加工的金属凹面锥形反射镜补偿检测实现轴锥镜透射波面的测量.此方法操作简单,易于实现对
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
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1.引言轴锥镜是一个焦线沿光轴方向的旋转对称角锥形光学元件,由于它的长焦深以及窄的横向宽度的特性,它被广泛应用于成像光学系统、光学测试、激光束整形等方面,且在光刻照明中利用轴锥镜可以实现环形照明模式,这就需要精确的测量方法来保证轴锥镜的加工精度.本文提出一种利用偏振移相干涉仪检测轴锥镜透射波面的方法,利用金刚石车床加工的金属凹面锥形反射镜补偿检测实现轴锥镜透射波面的测量.此方法操作简单,易于实现对任意锥角的轴锥镜透射波面的检测.
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