【摘 要】
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该文利用CF气体，对YBCO薄膜表面进行了可控的rf等离子体氟化处理。AFM与XPS的分析结果表明：适当的氟化所起的作用主要为化学作用。氟化可造成Y(3d)与0(1s)两元素的本征峰相对强度减少，甚于消失，而对其它元素则影响不大。该文的研究为利用等离子体氟化YBCO膜形成弱化势垒层提供了初步结果。
【机 构】
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大学电子科学与工程系(南京) 大学电子 科学与工程系(南京)
【出 处】
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第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
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该文利用CF<,4>气体，对YBCO薄膜表面进行了可控的rf等离子体氟化处理。AFM与XPS的分析结果表明：适当的氟化所起的作用主要为化学作用。氟化可造成Y(3d)与0(1s)两元素的本征峰相对强度减少，甚于消失，而对其它元素则影响不大。该文的研究为利用等离子体氟化YBCO膜形成弱化势垒层提供了初步结果。
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