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该文讨论了勾形磁场对Ｎ＜１００＞，Ｈ＜１１１＞直拉硅单晶电阻率的影响。勾形磁场能够改善电阻率径向均匀性，对电阻率轴向变化影响不大。
勾形磁场对直拉硅单晶电阻率的影响
【摘 要】
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该文讨论了勾形磁场对Ｎ＜１００＞，Ｈ＜１１１＞直拉硅单晶电阻率的影响。勾形磁场能够改善电阻率径向均匀性，对电阻率轴向变化影响不大。
【机 构】
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有色金属研究总院半导体中心
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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