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简要介绍了中国空气动力研究与发展中心自行设计研制的梳状结构浮动元件MEMS剪应力天平、天平静/动态性能校准方法和摩擦应力直接测量技术,给出了MEMS天平测得的平板模型摩擦应力结果,并进行了简要分析。研究结果表明,所发展的基于MEMS天平的摩擦应力直接测量技术是成功的。
基于MEMS天平的摩擦应力直接测量试验技术研究
【摘 要】
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简要介绍了中国空气动力研究与发展中心自行设计研制的梳状结构浮动元件MEMS剪应力天平、天平静/动态性能校准方法和摩擦应力直接测量技术,给出了MEMS天平测得的平板模型摩擦
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心,四川绵阳621000北京航空航天大学,北京100083南京航空航天大学,江苏南京2100161
【出 处】
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第一届近代实验空气动力学会议
【发表日期】
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2007年8期
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