【摘 要】
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类金刚石薄膜（DLC膜）具有非常优良的光学、电学和机械性质。但其薄膜材料的性质强烈依赖于薄膜的制备，因此如何确定DLC膜的质量是至关重要的。文中应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品，表明椭偏光谱法可以确定DLC膜厚度，并可反映出sp成份百分比变化与制备时偏置电压的关系。
【机 构】
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大学光电系(成都) 科技大学光纤实验室(成都)
【出 处】
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中国光学学会全息与光信息处理专业委员会98学术年会
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类金刚石薄膜（DLC膜）具有非常优良的光学、电学和机械性质。但其薄膜材料的性质强烈依赖于薄膜的制备，因此如何确定DLC膜的质量是至关重要的。文中应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品，表明椭偏光谱法可以确定DLC膜厚度，并可反映出sp<3>成份百分比变化与制备时偏置电压的关系。
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