类金刚石膜相关论文
类金刚石膜是一种由sp~3和sp~2混合的亚稳态碳膜。因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损性能，在石油、航空航天、汽车......
类金刚石（DLC）薄膜是近年来备受关注的一类薄膜材料。由于其诱人的性能,它们被认为是电子、光学和防磨损应用的重要材料。化学惰性、......
类金刚石膜是由sp2键合的石墨与sp3键合的金刚石组成的一类碳膜,具备石墨的润滑特性和金刚石的高硬度,在降低摩擦因数、耐磨等方面......
类金刚石(DLC)薄膜因其硬度高、禁带宽度可调和抗辐射性好等优点成为空间太阳能电池研究的热点材料之一.采用AFORS-HET v2.5,在AM1......
期刊
采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积了用于人工心瓣的类金刚石膜生物材料。考察了多种工艺条件下沉积膜的表面形貌、X射线衍射、光......
本文研究了电弧离子镀沉积的富碳TiC薄膜.结果表明,在腔体内H和CH气体流量比为1/2和1/1时,两沉积膜层的C和Ti的原子百分比远远超过......
本文采用PECVD沉积技术,成功制备了不同氟硅含量的类金刚石膜,测试结果表明,不同氟硅含量的类金刚石膜具有不同的摩擦磨损性能。特......
MS-T3000摩擦磨损试验仪运用球-盘摩擦原理,得到材料或薄膜的摩擦性能和耐磨强度.尤其在硬质涂层领域中应用MS-T3000可以精确的测......
本文应用等离子体辅助化学气相沉积方法在单晶硅上制备了由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜.通过工艺参数调整,获得了亚层厚度......
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学......
类金刚石薄膜（DLC膜）具有非常优良的光学、电学和机械性质。但其薄膜材料的性质强烈依赖于薄膜的制备，因此如何确定DLC膜的质量是至关......
表面工程技术在国民经济建设和国防科学研究中发挥着越来越重要的作用,以提高被处理件的耐磨、耐蚀、表面状态等性能为目的应用技......
采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了直流辉光氢等离子体处理对膜的场发射性能的影响,发现氢等......
非晶碳是一种重要的碳基材料，物理化学性质与晶体金刚石类似的非晶碳膜——类金刚石薄膜在很多领域已经的到了实际的应用1.由于非晶......
常用的硫化锌衬底增透膜系存在硬度低，保护效果差等问题，难以满足在恶劣环境使用的要求。在真空中用准分子激光制备了高红外透射率、......
类金刚石(DLC)膜具有宽光谱高透射率、高硬度、高热传导及高稳定性等优点，是红外窗口增透保护膜的优选，但现有方法制备的类金刚石膜......
概括了光学级类金刚石(DLC)膜的优点与性能, 对最常用的几种制备类金刚石膜的方法——脉冲激光沉积法、磁过滤电弧沉积法、射频辉......
提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术, 在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场, 用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参......
本文综述了模具表面改性的新技术,包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等.重点介绍了模......
本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以C2H2 为碳源，Ar 为稀释气体，在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-like Carbon,D......
第13届欧洲金刚石及相关材料国际会议于2002年9月8～13日在西班牙南方古城格拉那达(GRANADA)举行。这个城市是西班牙南方地区最后一......
类金刚石膜制备技术及在红外元件上的应用李福升，赵强，洪伟（航天工业总公司八三五八所天津３００１９２）类金刚石膜是一种性能极其优异的红外涂层材......
在物理气相沉积过程中,触发真空间隙是整个试验过程中最基本的一步,很多因素影响真空间隙的成功触发,本文对此加以讨论,并提供一个......
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置，以及在CH4－H2混合气体放电情况下，诊断了内部等离子体参数，给出了等离子体密度、......
一、引言自七十年代初。由Aisenberg等人开始至七十年代末Weissmantel等人,用各种不同的离子束淀积方法都生长出了类金刚石碳膜。......
一、前言金刚石以超硬、耐磨、高绝缘、高导热、化学惰性以及高温半导体等优异性能被视为珍品,誉为宝石之王。可是直到本世纪五十......
本文研究了用辉光放电法在Ti-6Al-4V合金上淀积坚硬碳膜。并对碳膜的耐磨性、耐蚀性及其与衬底的结合强度进行了初步测试,用电子衍......
用脉冲激光沉积（PLD）法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石（DLC）薄膜,并用3KeV的氩离子轰击（AIB）DLC薄膜。采用拉曼（Raman）光谱......
针对脉冲激光沉积(PLD)薄膜装置,建立了时间分辨等离子体发射光谱测量系统,在沉积类金刚石(DLC)薄膜时,通过对CII(426.7 nm)和CIII......
利用脉冲辉光放电的方法,在硅片上采用不同的沉积工艺制备了含氢类金刚石膜层,并采用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)对膜层进行......
由于激光烧蚀靶材形成的等离子体羽辉呈高斯分布,导致沉积的大面积薄膜尤其是球面衬底上的薄膜极不均匀,严重限制了脉冲激光沉积法......
为建立类金刚石膜材料仿真模型,采用PECVD法在石英及硅衬底沉积出适用于功率半导体器件钝化的类金刚石膜,借助光谱吸收法测量其禁......
用自制的多功能离子束辅助沉积设备在 2 0Cr和 4 0Cr低合金钢上沉积类金刚石膜。通过失重法、电化学方法研究低合金钢镀膜前后在不......
采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光......
研究了利用低能离子束技术，在单晶硅片等多种基体表面形成类金刚石薄膜（ＤＬＣ膜）。利用透射电镜、Ｘ射线光电子能谱及拉曼光谱等分析手段对该......
长期以来各国科技界努力探索在常温常压下制造与金刚石相类似性能的新物质和新材料 ,以适应军工、机械、光学镜头、电子元器件、钟......
采用磁过滤阴极真空弧源法对低温热解碳瓣叶和瓣环内Ti6Al4V贴片进行了类金刚石膜沉积,并利用模拟摩擦磨损试验检验了薄膜耐磨性,......
探讨了掺钨类金刚石(W-DLC)膜沉积及离子渗硫两步合成DLC和WS2复合固体润滑膜的新方法。利用低温离子渗硫技术对4种钨含量的W-DLC......
一、导言 七十年代初,首先是 Aisenbergerg(1)等人在真空室中用40eV的碳和氩离子打在不锈钢片上,淀积出了碳膜,膜的性质:透明,折射......
金刚石和类金刚石膜是当今材料界的研究热点之一，有着极其诱人的应用前景。本文简要综述了该膜系的发展过程和现在水平。并结合作者......
为防止高Ｔｃ超导探测器的超导电性退化或失超，用Ｃ＋注入、ＸｅＣｌ准分子激光辐照形成类金刚石（ＤＬＣ）保护膜．该膜结合紧密，克服了ＤＬＣ／ＹＢＣＯ两种材料晶格失配、线胀系......
采用阴极电弧沉积方法，制备了与靶材成分基本相同的多元合金Inconel625膜层[1]。用XRD，SEM，TEM研究了不同入射角下所获膜层中的织构分......
