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概述了Al2O3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al2O3薄膜的多种制备方法,并综合比较了各种制备工艺的优缺点;最后阐述了Al2O3薄膜在机械涂层、光学领域、微电子领域的应用。
Al2O3薄膜的性能、制备与应用
【摘 要】
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概述了Al2O3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al2O3薄膜的多种制备方法,并综合比较了各种制备工艺的优缺点;最后阐述了Al2O3薄膜在机械涂层、光学领域、微电子领域的应用
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,表面工程技术重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
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