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本文较详细地阐明了电子背散射衍射技术EBSD的基本原理、实验分析方法,通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构的快速分析,使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来,电子背散射衍射技术EBSD成为现代材料科学研究的重要实验技术.
电子背散射衍射技术及其在材料分析中应用
【摘 要】
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本文较详细地阐明了电子背散射衍射技术EBSD的基本原理、实验分析方法,通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构
【机 构】
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华中科技大学分析测试中心,湖北,武汉,430074
【出 处】
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2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议
【发表日期】
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2005年8期
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