再平衡电容扭摆式加速度计的测量与控制

来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:basilmhb
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该文主要讨论电容式加速度计的测量控制电路。电路采用静电再平衡方法,激励信号作为调制信号加在激励电极上,信号从加速度计板块输出,经过进行电容测量(采用电荷再分配法)及放大电路后,再经过解调电路,滤波电路,电极发生,到达反馈电压发生电路。产生的反馈电压加到敏感电极上,使得因加速度输入而倾斜的加速度板块重新平衡。同时,反馈电压也作为输出反应了加速度的大小。
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