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阐述了PSD国内外应用情况及研究动向。详细介绍了三角洲量法系统的原理，对整个系统进行了精度分析。通过实验设计能测到范围2～50m内，精度能达5μm左右。
位置敏感器PSD测量面形
【摘 要】
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阐述了PSD国内外应用情况及研究动向。详细介绍了三角洲量法系统的原理，对整个系统进行了精度分析。通过实验设计能测到范围2～50m内，精度能达5μm左右。
【机 构】
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电子科技大学应用物理研究所(成都)
【出 处】
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第三届四川省光电技术学术交流会
【发表日期】
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2000年7期
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