【摘 要】
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抗反射和自清洁功能在日常生产生活以及军事领域中有着广泛的用途，在太阳能电池，建筑幕墙，挡风窗和其他光学显示器上有着非常重要的应用，因此引起的了广泛的关注和研究。人们
【机 构】
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中国科学院 理化技术研究所 功能纳米材料实验室,北京100190
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
抗反射和自清洁功能在日常生产生活以及军事领域中有着广泛的用途，在太阳能电池，建筑幕墙，挡风窗和其他光学显示器上有着非常重要的应用，因此引起的了广泛的关注和研究。人们迫切需要研究出一种具有高抗反射性能，同时还能够具有自清洁作用的涂层制备技术。介孔二氧化硅材料具有高孔隙率，高的机械和热稳定性，同时还具有低的介电常数(low-k)和折射率(low-n)。在半导体器件，光学显示器上都引起了科学研究者的极大兴趣。近期日本研究者制备出了用作抗反射涂层的介孔二氧化硅薄膜。
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