MEMS技术相关论文
针对环境污染、无创医疗、生化武器、爆炸物等方面对气体的便携式、现场快速检测的需求,高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS技术）的原理......
针对电子血压计和制氧机的动态压力测量（0～100 kPa）,结合ZnO:Li薄膜d31和d33两种压电工作模式,本文基于MEMS技术给出两种压电式压力传......
生物分子结合反应,DNA杂交,蛋白质展开,酶促反应和微生物代谢等生化反应过程中总是会伴随着热量的变化,了解生化反应过程中热量的......
随着国家海洋强国战略的发展，对测量海洋要素的海洋电导率和温度传感器的性能要求日渐提高，基于MEMS(Micro-electromechanical Micro......
摘 要：传统陀螺仪的测控电路是由分立的模拟电路组成，陀螺仪输出信号的性能易受温度等环境因素影响。针对以上问题，文章基于Altera公......
基于MEMS技术加工的微机械陀螺具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等优点,当前在许多领域具有非常广阔的应用前景。然而,在国内......
针对提升ZnO材料在加速度传感器中的应用,本文基于MEMS技术设计了一种ZnO纳米结构加速度传感器,其结构由硅基悬臂梁、Ti/Pt底电极......
为解决角度传感器在汽车转向助力应用相关领域存在的接触磨损、量程小、结构复杂和对环境要求高等问题,本文基于MEMS技术设计制作......
随着科技的发展,微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术不断进步,MEMS惯性器件的精度和稳定性得到了很大的提高,基......
设备巡检是水电站正常运行中重要的一项保障工作,随着“智慧型水电站”的提出与推进,智能巡检机器人代替人工巡检已成为趋势。触觉......
随着微机电系统（MEMS）技术与物联网的迅猛发展,微加工超声换能器在各类超声器件中脱颖而出,在国民经济、社会发展与国防安全领域发挥......
目前对煤矿安全生产最严重的灾害就是瓦斯爆炸。由于瓦斯的主要成分是CH4，因此当前煤矿都用对甲烷气体含量的检测作为瓦斯含量的参......
随着MEMS技术的迅速发展,基于MEMS技术的惯性器件正逐步走向成熟。MIMU具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等一系列优点,因此基......
目前随着我国工业体系的不断完善，航空发动机的制造已经成为了可能。新一代的航空发动机性能已经得到了大幅提高，同时其对于测试传感......
高速客运列车的安全性和舒适度是最重要的两个因素。随着我国高速铁路及客运专线的全面发展，这两个问题更大地引起了大家的关注。其......
光谱仪是对物质成分进行检测的重要设备之一。微型化、集成化是光谱仪器发展的重要趋势之一。ICP(Inductively Coupled Plasma)激......
气体测量在航天、能源、医学、食品、汽车工业以及能源等领域中都至关重要。热式气体质量流量计，由于其原理简单，可测量的流量范围很......
氢能具有燃烧放热量高、对环境无污染、资源丰富等优点，被认为是未来取代“化石燃料”的主要能源之一。由于氢气无色无味、易泄漏，且......
摘 要：随着社会科技的高速发展，电子通信产业因其广泛的应用和高含量的技术引领着社会其它行业的发展。MEMS的应用能够有效的主数据......
采用MEMS技术研制出的惯性传感器就是加速度计和陀螺传感器，它具有体积小、成本低，可靠性高等特点，对国防具有重大的战略意义。因此，开......
随着近二十年MEMS技术的迅速发展,采用MEMS技术的传感器得到更加广泛的应用,为引信发火控制系统的小型化、机电一体化提供了新的发......
氧气传感器是气体传感器的主要分支之一。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传......
液压传动与控制技术在国民经济与国防各部门的应用非常广泛,液压系统与设备在整个装备体系中占有非常重要的地位。液压系统的故障......
虽然MEMS发展已经有二十多年的时间了,但粘着问题一直阻碍MEMS产品进入市场,是MEMS技术急需解决的关键问题。分子动力学模拟作为一......
空中通信节点技术是现代信息战、多军种联合作战中重要的支撑技术之一。一个国家在该技术领域是否占有先进地位,直接影响着这个国......
近年来，微电子技术和MEMS技术得到快速发展，同时低功耗电子器件、微型传感系统、微型嵌入式系统以及无线射频技术(RF)等应用越来越普......
随着微加工技术的进步和对微型发电机研究的深入，基于MEMS微型发电机的微能源系统已经可以满足低功耗器件的供电要求。但是现有的微......
随着导航技术的发展，各种导航、定位系统已经广泛应用到各个领域，但是由于单一导航系统本身固有的缺点，使其在某些领域的应用受到一定......
论文以某型无人机的控制系统开发为项目背景，对嵌入式组合导航技术展开了研究，并设计研制了一套基于微机电（Micro-Electromechanical ......
矢量水听器作为一种能够同时获得声场标量信息和矢量信息的水听器，得到国内外水声领域的高度重视。由中北大学研制的二维MEMS仿生矢......
微型反应器是一个集成的微电子机械系统(MEMS),它内部结构宽度的典型尺寸在微米量级.由于具有非常大的表面体积比,它能够提供高效......
能量收集技术是依据半导体领域发展起来的高新技术,这项技术可以利用周围的环境如阳光、风力、潮汐、振动等来采集能量,从而解决无......
细胞分选是指从大量非均一细胞群体中获取性质均一的目标细胞的一种技术，如从大量红细胞中分选其中含有的少量白细胞，从细胞融合液中......
自然界中的大多数物质都具有弱反磁性,当反磁性物质处在磁场中时,会受到磁场给它的抗磁力。当在空间中某一点处,物质所受抗磁力与......
近年来,随着微电子技术、微机械加工技术以及无线传感技术的突飞猛进,诸如嵌入式系统、射频识别系统、无线传感器以及各种可植入微......
电场与人类的生产生活活动息息相关。为了测量各种电场参数，人们进行了深入的研究，发明了多种电场传感器。但是用于静电场测量的微型......
随着声隐身技术的发展,水下运动目标的辐射噪声大幅度下降,这对噪声测试技术提出了新的挑战,尤其是低频、远距离探测。矢量水声传......
作为MEMS技术的一个重要应用领域,MEMS陀螺以其低成本、体积小、可靠性高、功耗低等优点,已广泛应用于汽车、电子以及航空航天等各......
本文基于MEMS技术在<100>晶向双面抛光高阻单晶硅片上设计、制作悬臂梁阵列式脉搏传感器。该结构由三个悬臂梁(B1、B2、B3)、悬臂......
本文基于双极工艺和MEMS技术在SOI片(器件层为n型<100>晶向高阻硅)上设计、制作非对称基区晶体管温度补偿压力传感器,压敏结构由C......
结冰是广泛存在于人们日常生产生活中的自然现象,同时这一现象也是很特殊的,因为它的出现总是与我们的安全息息相关。本文基于MEMS......
本论文主要研究针对危化品可燃性气体检测设计的微结构气体传感器。目前生产的催化燃烧式气体传感器采用传统手工绕线、涂覆工艺,......
