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以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长制备金刚石微机械的技术。
金刚石微机械加工技术研究
【摘 要】
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以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长制备金刚石微机械的技术。
【机 构】
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科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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