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RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.
RF MEMS器件的发展现状
【摘 要】
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RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.
【机 构】
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信息产业部电子二十四所(重庆)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年期
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