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利用离子束溅射镀膜技术制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜,对合金薄膜电阻进行了热处理.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响.用该工艺能制备适应各种恶劣环境的高精度压力传感器.
热处理工艺对合金薄膜电阻及其稳定性的影响
【摘 要】
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利用离子束溅射镀膜技术制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜,对合金薄膜电阻进行了热处理.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响.用该工艺能制备适应各种恶劣环境
【机 构】
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中南大学信息学院,410075
【出 处】
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中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
【发表日期】
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2002年期
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