几种二砜光产酸剂的合成与性质

来源 :中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baoyuan000
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  本文合成了五种含不同取代基的二砜类光产酸剂,它们大部分在常用的有机溶剂中具有很好的溶解性,热分解温度都在190℃以上,有很好的热稳定性。这些二砜产酸剂在乙醇溶液中紫外吸收的最大吸收峰波 长在250nm左右,采用高压汞灯作光源,它们的乙醇溶液曝光后迅速发生光解。测定了这些二砜产酸剂在 乙醇溶液中的光解量子效率,达到0.4-0.6,具有较高的光解量子效率。此类光产酸剂适用于化学增幅型深紫外正性光致抗蚀剂体系。
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