光产酸剂相关论文
光刻胶又被称为光致抗蚀剂,是制造半导体器件基材上的光敏保护膜,具有抗刻蚀性能。本论文研究了不同结构的光产酸剂（Photo Acid Gen......
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了几种新颖的酯缩醛结构小分子化合物。这些......
澳酚蓝水溶液的紫外吸收会随着体系中酸的量变化,以此为基础,用一种简单新颖的方法测定了三种不同的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低......
本文报道了一种含氟磺酸肟酯类光产酸剂:(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-甲基苯乙腈(P-1),用核磁谱图确认了产物结构,......
本文报道了一种含氟磺酸肟酯类光产酸剂:(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-甲基苯乙腈(P-1),用核磁谱图确认了产物结构,......
本文合成了五种含不同取代基的二砜类光产酸剂，它们大部分在常用的有机溶剂中具有很好的溶解性，热分解温度都在190℃以上，有很好......
本文将甲基丙烯酸与乙烯基乙基醚、二氢吡喃等进行羧基保护反应，得到的酯单体进行聚合反应或与其他单体进行共聚反应，得到了一系列新......
制备了一种基于三苯胺的硫鎓盐类光产酸剂,它有较高的热分解温度和在常用有机溶剂中有较好的溶解性.并考察了其在相同浓度、相同光......
该论文结合国家重点"863"项目之一——"ULSI用新型光致抗蚀剂"的需要,目的是为193nm光致抗蚀剂提供适用的光产酸剂.193nm光致抗蚀......
本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具......
介绍了国内外光致抗蚀剂的研究进展、化学增幅光致抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的主要合成方法,同时介绍了193nm光致抗蚀剂所使用的光......
用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用......
综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理，对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述，并对其特性和应用做了简......
合成了几种N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯，它们在常用的溶剂中有良好的溶解性，且具有良好的热稳定性。以聚乙二醇做成膜树脂，测定了这......
制备了一种阳离子含有萘基,阴离子分别为对-甲苯磺酸、甲磺酸及三氟甲磺酸的硫鎓盐.它们有高的热解温度和在常用有机溶剂中较好的......
溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化，在440nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比，......
2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物（2,1,4-DNQ）,在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可......
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分......
溴酚蓝水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化，在440nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚蓝水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比，......
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与......
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它......
光产酸剂是一类在外界刺激(如光、热、射线等)下能从中性化合物中分解形成特定酸的化合物,由于其形成的酸可以由外界条件控制,因此......
本文通过沉淀聚合合成了聚(甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯)四元共聚物,合成了光产酸......
采用常见的芳香二酸（对苯二甲酸和1,4-萘二甲酸）与1,4-二（2-乙烯氧基乙氧基）苯（1,4-DVEB）聚合,得到了2种新型的芳香酯缩醛聚合物,这些聚......
