MEMS惯性器件的新进展及应用

来源 :2010年全国半导体器件技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nisshei5zd
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阐述了惯性技术的发展历史,总结了MEMS惯性器件的最新发展现状,并列举出当前最高技术水平的MEMS惯性器件及其技术指标。同时,概括了MEMS惯性器件的应用领域,特别是在导航领域的应用现状。最后指出,随着新型MEMS惯性器件的涌现和完善,以MEMS惯性导航为基础的组合导航系统将成为未来导航系统的主要发展方向。
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