两端结构中长波同时响应型双色量子阱红外探测器

来源 :第十七届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wentoume
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传统的双色量子阱红外探测器为了实现双色同时探测,往往采用三端结构器件,即每个像元上制作3个电极,通过3个铟柱与读出电路倒装互联,这会使焦平面阵列的填充因子减小,并且面阵较大时,因为铟柱数目极多,其后续工艺十分复杂,往往使面阵均匀性及成品率降低。文中介绍了其材料生长和器件制作技术,进行了单管测量,并对其工作原理进行了分析。
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