12寸半导体厂节能方案研究

来源 :第二届制冷空调工程工作委员会会员代表大会暨第四届中国制冷空调工程行业发展高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dreamastlxy
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随着科技业的发展,台湾地区拥有三大科学工业园区,与全世界高密度的12寸半导体厂。高科技产业是目前台湾经济主轴之一,高科技产业能源需求量相当大,也是台湾主要的电能用户。本研究针对12寸半导体晶圆厂厂务系统节能案例研究。利用A、B、C三座12寸晶圆厂之厂务系统进行案例比较。并举出四个节能案例进行讨论与建议。
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