异形孔径微透镜及阵列研究

来源 :全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mater
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本文介绍了采用两步法制作的方形和六角形自聚焦透镜及其阵列,并对它们的主要性能进行了测量。利用光刻离子交换工艺制作异形孔径变折射率平面微透镜阵列和采用热熔工艺制作的异形孔径树酯微透镜阵列。给出了阵列的光学特性参数和实物照片,此微透镜阵列排整齐、光学性能均匀,由于变折射率区域有微小重叠,填充系数可达95%以上,成像质量很好。
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