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本文讨论了采用孪生对靶直流磁控溅射方法制备ZnO：Al（ZAO)薄膜材料，考察一定工艺条件下制备的ZAO 材料的霍耳迁移率、可见光透射率、反射率等性能，并对其作为倒结构柔性衬底太阳电池顶电极对电池性能的影响进行了研究。
孪生对靶溅射ZnO:Al材料性能和对电池性能的影响
【摘 要】
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本文讨论了采用孪生对靶直流磁控溅射方法制备ZnO：Al（ZAO)薄膜材料，考察一定工艺条件下制备的ZAO 材料的霍耳迁移率、可见光透射率、反射率等性能，并对其作为倒结构柔性衬底太阳
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院,天津,300071
【出 处】
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第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
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2004年期
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