低Q值硅微陀螺仪自激驱动研究

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本文研究了低Q值(低品质因数)线振动硅微陀螺仪自激驱动电路的基本原理,设计了针对低Q值陀螺的自激振荡驱动的电路,采用调制解调的方法检测微小电容变化量,得到了较好的效果.实验是在空气中完成的,实验结果表明:该电路能够在空气中实现硅微振动陀螺仪的自激驱动,驱动输出信号的幅值、频率稳定性均较好.经测量频率稳定性标准偏差达到0.07 Hz,幅度标准偏差0.029 V。
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