双频双坐标激光测量系统的研制及应用

来源 :中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mark_johnson
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该文介绍了哈工大精加工实验室研制的双频双坐标激光测量系统。该系统完全采用国产元件设计,在中国首次实现了两坐标同时检测,分辨率达0.01μm;系统具有空气参数自动跟踪补偿系统,有效地消除了环境参数变化产生的测量误差;该文介绍了一种新的行波-并行数据采集电路,保证了系统的稳定性和可靠性;系统采用标准的GP-IB接口与主机通讯,可方便地实现测控一体化,为实现精密定位的闭环控制提供了可能,并成功地应用于该实验室研制的超精密车床中。
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