薄膜SrTiO的制备及氧敏性能

来源 :第十一届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:njtangxn
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以Ti(OC<,4>H<,9>)<,4>.SrCl<,3>.6H<,2>O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了SrTiO<,3>和掺铁SrTiO<,3>薄膜。通过电镜和X衍射分析了薄膜的结构,并分析比较了烧成温度和掺杂对钛酸锶氧敏性能的影响。
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