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该文介绍了高分辨率Si(Li)X射线探测器的制造方法,其形状为构槽形,体积为12mm[**]×3mm,结电容为0.88PF,对[**]Fe(5.9Kev)的能量分辨率为152ev,峰/谷=136,峰/底=319,FWTM/FWHM=1.88,使用偏压近似450伏。材料为高真空区熔P型Si单晶,其主要参数为:ρ~3000Ω·cm;τ>500μS;位错密度<500/cm[**];含氧量<10[**]/cm[**];含碳量<10[**]/cm[**];φ~20mm;晶向(111)。(王太和摘)